Tyhjiöhiiletys on työkappaleen lämmittämistä tyhjiössä.Kun se saavuttaa kriittisen pisteen yläpuolella olevan lämpötilan, se pysyy jonkin aikaa, poistaa kaasut ja poistaa oksidikalvon ja siirtää sitten puhdistetun hiiletyskaasun hiiletystä ja diffuusiota varten.Tyhjiöhiiletyksen hiiletyslämpötila on korkea, jopa 1030 ℃, ja hiiletysnopeus on nopea.Hiiletettyjen osien pinta-aktiivisuutta parannetaan kaasunpoistolla ja hapettumisenestolla.Seuraava diffuusionopeus on liian suuri.Hiiletys ja diffuusio suoritetaan toistuvasti ja vuorotellen, kunnes vaadittu pintapitoisuus ja syvyys saavutetaan.
Tyhjiöhiiletyssyvyyttä ja pintapitoisuutta voidaan ohjata;Se voi muuttaa metalliosien pintakerroksen metallurgisia ominaisuuksia, ja sen tehokas hiiletyssyvyys on syvempi kuin muiden menetelmien todellinen hiiletyssyvyys.