Työteoria：

Esipumppaamalla uuni tyhjiöön ja lämmittämällä sitten asetettuun lämpötilaan, täytä ammoniakkia nitridointiprosessia varten, pumppaa ja täytä sitten uudelleen useiden syklien jälkeen halutun nitridisyvyyden saavuttamiseksi.

Edut:

Vertaa perinteiseen kaasunitraukseen. Metallipinnan aktiivisuuden ansiosta tyhjiölämmityksessä tyhjiönnitrauksella on parempi adsorptiokyky, mikä lyhentää prosessiaikaa ja parantaa kovuutta.tarkkaohjaus, pienempi kaasunkulutus, tiheämpi valkoinen yhdistekerros.