Ominaisuudet:

1) Typetysnopeus on nopeampi, nitridointisykliä voidaan lyhentää asianmukaisesti ja ioninitridointiaikaa voidaan lyhentää 1/3–2/3:aan kaasunitridointiajasta.

2) Nitridikerroksen hauraus on pieni, ja plasmanitrauksen pinnalle muodostuva valkoinen kerros on hyvin ohut tai sitä ei ole lainkaan. Lisäksi nitridikerroksen aiheuttama muodonmuutos on pieni, mikä soveltuu erityisesti monimutkaisten muotojen omaaville tarkkuusosille.

3) Energian ja ammoniakin kulutusta voidaan säästää. Sähköenergian kulutus on 1/2–1/5 kaasunitrauksesta ja ammoniakin kulutus 1/5–1/20 kaasunitrauksesta.

4) Paikallinen nitraus on helppo toteuttaa, kunhan nitrauskelvoton osa ei hehku. Ei-nitrauskelvoton osa on helppo suojata, ja hehku voidaan suojata mekaanisella suojauksella ja rautalevyllä.

5) Ionipommitus voi puhdistaa pinnan ja poistaa passivointikalvon automaattisesti. Ruostumaton teräs ja kuumuutta kestävä teräs voidaan nitrata suoraan ilman passivointikalvon poistamista etukäteen.

6) Yhdistekerroksen rakennetta, tunkeutumiskerroksen paksuutta ja rakennetta voidaan hallita.

7) Käsittelylämpötila-alue on laaja, ja tietty nitridikerroksen paksuus voidaan saavuttaa jopa alle 350 °C:ssa.

8) Työoloja on parannettu. Saasteettoman plasmanitrauskäsittelyn suorittaminen tapahtuu erittäin alhaisessa paineessa ja vähäisissä pakokaasupäästöissä. Kaasulähteenä käytetään typpeä, vetyä ja ammoniakkia, eikä haitallisia aineita synny käytännössä lainkaan.

9) Sitä voidaan käyttää kaikenlaisille materiaaleille, mukaan lukien ruostumaton teräs, korkean nitrauslämpötilan omaava kuumuutta kestävä teräs, työkaluteräs ja matalan nitrauslämpötilan omaavat tarkkuusosat, kun taas matalan lämpötilan nitraus on melko vaikeaa kaasunitrauksessa.